| Выпуск | 
	Название | 
	Файл | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	III-нитридные hemt гетероструктуры с ультратонким барьером AlN: получение и экспериментальное применение | 
	
                	 | 
	| 
		Гусев А.С., Султанов А.О., Рыжук Р.В., Неволина Т.Н., Цунваза Д., Сафаралиев Г.К., Каргин Н.И.
	 | 
		| Том 53, № 3 (2024) | 
	Анализ механизмов рассеяния носителей в AlN/GaN HEMT-гетероструктурах с ультратонким AlN барьером | 
	
                	 | 
	| 
		Гусев А.С., Султанов А.О., Катков А.В., Рындя С.М., Сигловая Н.В., Клочков А.Н., Рыжук Р.В., Каргин Н.И., Борисенко Д.П.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Анализ неоднородностей DpHEMT-структуры на основе GaAs/In0.53Ga0.47As после нейтронного воздействия | 
	
                	 | 
	| 
		Голиков О.Л., Кодочигов Н.Е., Оболенский С.В., Пузанов А.С., Тарасова Е.А., Хазанова C.В.
	 | 
		| Том 54, № 4 (2025) | 
	Аппаратная реализация асинхронной Аналоговой нейронной сети с обучением на базе унифицированных КМОП IP-блоков | 
	
                	 | 
	| 
		Петров М.О., Рындин Е.А., Андреева Н.В.
	 | 
		| Том 53, № 4 (2024) | 
	Аппроксимация спектра поглощения фосфида индия в контексте моделирования процесса очувствления | 
	
                	 | 
	| 
		Макаренко Ф.В., Зольников В.К., Заревич А.И., Заленская Н.Ю., Полуэктов А.В.
	 | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	Биполярный транзистор c туннельным пробоем | 
	
                	 | 
	| 
		Рехвиашвили С.Ш., Гаев Д.С.
	 | 
		| Том 52, № 6 (2023) | 
	Биполярный транзистор с оптической накачкой | 
	
                	 | 
	| 
		Альтудов Ю.К., Гаев Д.С., Псху А.В., Рехвиашвили С.Ш.
	 | 
		| Том 52, № 3 (2023) | 
	Быстрый электрохимический микронасос для портативного модуля доставки лекарств | 
	
                	 | 
	| 
		Уваров И.В., Шлепаков П.С., Абрамычев А.М., Световой В.Б.
	 | 
		| Том 54, № 4 (2025) | 
	Влияние быстрого термического отжига на формирование омических контактов алюминий-кремний и алюминий-поликремний в интегральных микросхемах | 
	
                	 | 
	| 
		Жигулин Д.В., Пилипенко В.А., Шестовский Д.В.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Влияние граничных условий на квантовый магнетотранспорт в тонкой пленке | 
	
                	 | 
	| 
		Кузнецова И.А., Савенко О.В., Романов Д.Н.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	Влияние деградации горячих носителей на характеристики высоковольтного КНИ транзистора с большой областью дрейфа | 
	
                	 | 
	| 
		Новоселов А.С., Масальский Н.В.
	 | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	Влияние дефектов изготовления и электрических шумов на эволюцию зарядового кубита с оптическим управлением | 
	
                	 | 
	| 
		Цуканов А.В., Катеев И.Ю.
	 | 
		| Том 53, № 3 (2024) | 
	Влияние добавки водорода на электрофизические параметры и спектры излучения плазмы тетрафторметана | 
	
                	 | 
	| 
		Мурин Д.Б., Граждян А.Ю., Чесноков И.А., Гогулев И.А.
	 | 
		| Том 53, № 3 (2024) | 
	Влияние лазерного излучения на функциональные свойства приборных МОП-структур | 
	
                	 | 
	| 
		Рехвиашвили С.Ш., Гаев Д.С.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	Влияние материала электродов на электроформовку и свойства мемристоров на основе открытых “сэндвич”-структур металл–SiO2–металл | 
	
                	 | 
	| 
		Мордвинцев В.М., Кудрявцев С.Е., Наумов В.В., Горлачев Е.С.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Влияние мощности магнетронного распыления на осаждение пленок ITO при комнатной температуре | 
	
                	 | 
	| 
		Саенко А.В., Вакулов З.Е., Климин В.С., Билык Г.Е., Малюков С.П.
	 | 
		| Том 53, № 2 (2024) | 
	Влияние примеси никеля на эксплуатационные параметры кремниевого солнечного элемента | 
	
                	 | 
	| 
		Кенжаев З.Т., Зикриллаев Н.Ф., Оджаев В.Б., Исмайлов К.А., Просолович В.С., Зикриллаев Х.Ф., Ковешников С.В.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Влияние структурных дефектов на электрофизические параметры p-i-n-фотодиодов | 
	
                	 | 
	| 
		Ковальчук Н.С., Ластовский С.Б., Оджаев В.Б., Петлицкий А.Н., Просолович В.С., Шестовский Д.В., Явид В.Ю., Янковский Ю.Н.
	 | 
		| Том 54, № 2 (2025) | 
	Влияние шероховатости границы на вариативность ВАХ кремневых полевых GAA нанотранзисторов | 
	
                	 | 
	| 
		Масальский Н.В.
	 | 
		| Том 52, № 6 (2023) | 
	ВНИМАНИЮ АВТОРОВ | 
	
                	 | 
	| 
		
	 | 
		| Том 53, № 2 (2024) | 
	Временные изменения механизмов токопрохождения в легированном эрбием пористом кремнии | 
	
                	 | 
	| 
		Хамзин Э.Х., Услин Д.А.
	 | 
		| Том 54, № 2 (2025) | 
	Закономерности переноса рентгеновского излучения в легированных многокомпонентных полупроводниках для дозиметрии | 
	
                	 | 
	| 
		Асадов C.М., Мустафаева С.Н., Лукичев В.Ф.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	Закономерности формирования подвижных локализованных магнитных конфигураций и технология изготовления структур для реализации элементов магнитной памяти | 
	
                	 | 
	| 
		Проказников А.В., Папорков В.А., Чириков В.А., Евсеева Н.А.
	 | 
		| Том 52, № 3 (2023) | 
	Запись поляризационного состояния фотона в коррелированные электронные состояния массива квантовых точек | 
	
                	 | 
	| 
		Цуканов А.В., Катеев И.Ю.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	Защитные свободновисящие пленки для установок проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона | 
	
                	 | 
	| 
		Зуев С.Ю., Лопатин А.Я., Лучин В.И., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И.
	 | 
		| Том 52, № 6 (2023) | 
	Зондовая и спектральная диагностика плазмы газовой среды: BCl3–Cl2 | 
	
                	 | 
	| 
		Мурин Д.Б., Чесноков И.А., Гогулев И.А., Гришков А.Э.
	 | 
		| Том 54, № 2 (2025) | 
	Измерение энергии адгезии между элементами МЭМС с помощью залипшего кантилевера | 
	
                	 | 
	| 
		Уваров И.В., Морозов О.В., Постников А.В., Световой В.Б.
	 | 
		| Том 52, № 2 (2023) | 
	Измерения на РЭМ размеров рельефных структур в технологическом процессе производства микросхем | 
	
                	 | 
	| 
		Новиков Ю.А., Филиппов М.Н.
	 | 
		| Том 52, № 1 (2023) | 
	Искусственный интеллект никогда не заменит полностью человека | 
	
                	 | 
	| 
		Абрамов И.И.
	 | 
		| Том 52, № 2 (2023) | 
	Исследование возможности оптимизации взаимодействия NV-центров и фотонов путем изменения формы микрорезонаторов | 
	
                	 | 
	| 
		Цуканов А.В., Катеев И.Ю.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Исследование мемристорного эффекта в кроссбар-архитектуре для нейроморфных систем искусственного интеллекта | 
	
                	 | 
	| 
		Полякова В.В., Саенко А.В., Коц И.Н., Ковалев А.В.
	 | 
		| Том 54, № 1 (2025) | 
	Исследование метода двойной литографии с использованием антиспейсера | 
	
                	 | 
	| 
		Тихонова Е.Д., Горнев Е.С.
	 | 
		| Том 52, № 2 (2023) | 
	Исследование оптических свойств сверхтонких пленок на основе силицида металлов | 
	
                	 | 
	| 
		Керимов Э.А.
	 | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	Исследование проводимости углеродных нанотрубок, осажденных на подложку на основе силицида иридия-кремний | 
	
                	 | 
	| 
		Керимов Э.А.
	 | 
		| Том 54, № 1 (2025) | 
	Исследование режимов осаждения пленок Cu2O методом ВЧ магнетронного распыления для применения в структурах солнечных элементов | 
	
                	 | 
	| 
		Саенко А.В., Жейц В.В., Вакулов З.Е., Смирнов В.А.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Исследование сенсорных свойств упорядоченных массивов наностержней ZnO для детектирования УФ-излучения | 
	
                	 | 
	| 
		Евстафьева М.В., Князев М.А., Корепанов В.И., Редькин А.Н., Рощупкин Д.В., Якимов Е.Е.
	 | 
		| Том 53, № 5 (2024) | 
	Исследование способов синтеза схем встроенного контроля на основе логической коррекции сигналов с применением равномерных разделимых кодов | 
	
                	 | 
	| 
		Ефанов Д.В., Елина Е.И.
	 | 
		| Том 52, № 1 (2023) | 
	Исследование фотоприемников с барьерами Шоттки на основе контакта IRSI–SI | 
	
                	 | 
	| 
		Керимов Э.А.
	 | 
		| Том 53, № 4 (2024) | 
	Исследование фотоэлектрических параметров неорганических солнечных элементов на основе Cu2O и CuO | 
	
                	 | 
	| 
		Саенко А.В., Билык Г.Е., Смирнов В.А.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Исследование чувствительной области МОП-транзистора к воздействию вторичных частиц, возникающих вследствие ионизирующего излучения | 
	
                	 | 
	| 
		Глушко А.А., Морозов С.А., Чистяков М.Г.
	 | 
		| Том 53, № 5 (2024) | 
	Исследования в условиях плазмы электронного циклотронного резонанса с применением резонанса на второй гармонике циклотронной частоты | 
	
                	 | 
	| 
		Ковальчук А.В., Шаповал С.Ю.
	 | 
		| Том 53, № 4 (2024) | 
	Квантовый вентиль CNOT на пространственных фотонных кубитах с резонансным электрооптическим контролем | 
	
                	 | 
	| 
		Цуканов А.В., Катеев И.Ю.
	 | 
		| Том 54, № 1 (2025) | 
	Квантовый транспорт носителей заряда в треугольной яме с учётом поверхностного рассеяния | 
	
                	 | 
	| 
		Романов Д.Н., Кузнецова И.А.
	 | 
		| Том 54, № 1 (2025) | 
	Кинетика экспонирования слоя позитивного фоторезиста на оптически согласованной подложке | 
	
                	 | 
	| 
		Кудря В.П.
	 | 
		| Том 53, № 3 (2024) | 
	Кинетика электромиграционного массопереноса в интерфейсных элементах микро- и наноэлектроники в зависимости от прочности тонкопленочных соединений | 
	
                	 | 
	| 
		Махвиладзе Т.М., Сарычев М.Е.
	 | 
		| Том 53, № 3 (2024) | 
	Комплексное исследование неравномерности свойств тонкопленочного катода LiCoO2, изготовленного методом ВЧ-магнетронного распыления | 
	
                	 | 
	| 
		Курбатов С.В., Рудый А.С., Наумов В.В., Мироненко А.А., Савенко О.В., Смирнова М.А., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	Компьютерное исследование влияния неоднородностей высокоомного слоя на резистивные переключения в структуре на основе микрокристалла селенида висмута | 
	
                	 | 
	| 
		Сироткин В.В.
	 | 
		| Том 52, № 1 (2023) | 
	Контактно-транспортные и автоэмиссионные свойства низкоразмерных 2D углеродных гетероструктур | 
	
                	 | 
	| 
		Яфаров Р.К., Шабунин Н.О.
	 | 
		| Том 52, № 1 (2023) | 
	Контроль параметров травления кремния в вч плазме CHF3 методом оптической эмиссионной спектроскопии | 
	
                	 | 
	| 
		Мурин Д.Б., Чесноков И.А., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Концентрация атомов фтора и кинетика реактивно-ионного травления кремния в смесях CF4 + O2, CHF3 + O2 и C4F8 + O2 | 
	
                	 | 
	| 
		Ефремов А.М., Бобылев А.В., Kwon K.
	 | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	Краткий обзор типологии нейронов и анализ использования мемристорных кроссбаров | 
	
                	 | 
	| 
		Токарев А.А., Хорин И.А.
	 | 
		| Том 53, № 5 (2024) | 
	Математическое моделирование системы жидкостного охлаждения микропроцессора | 
	
                	 | 
	| 
		Андреев А.И., Семенов А.Е.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Материалы для межсоединений интегральных схем с проектными нормами менее 5 нм | 
	
                	 | 
	| 
		Рогожин А.Е., Глаз О.Г.
	 | 
		| Том 54, № 3 (2025) | 
	Метод автоматизированного расчeта зeрен и пустот в металлических плeнках и TSV-структурах | 
	
                	 | 
	| 
		Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Иванин П.С., Зольников В.К., Фомичёв М.Ю.
	 | 
		| Том 53, № 4 (2024) | 
	Методика изготовления фоточувствительных элементов на основе PtSi | 
	
                	 | 
	| 
		Керимов Э.А.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Механизмы перераспределения углеродных загрязнений в пленках, сформированных методом атомно-слоевого осаждения | 
	
                	 | 
	| 
		Фадеев А.В., Мяконьких А.В., Смирнова Е.А., Симакин С.Г., Руденко К.В.
	 | 
		| Том 53, № 5 (2024) | 
	Механизмы транспорта и полевой эмиссии электронов в 2D некристаллических углеродных гетероструктурах с квантовым барьером | 
	
                	 | 
	| 
		Красников Г.Я., Бокарев В.П., Теплов Г.С., Яфаров Р.К.
	 | 
		| Том 53, № 4 (2024) | 
	Микроструктура островковых пленок Al на Si(111) при магнетронном напылении: влияние температуры подложки | 
	
                	 | 
	| 
		Ломов А.А., Захаров Д.М., Тарасов М.А., Чекушкин А.М., Татаринцев А.А., Васильев А.Л.
	 | 
		| Том 54, № 4 (2025) | 
	Многослойные эпитаксиальные кремниевые структуры с субмикронными слоями, выращенные сублимационной молекулярно-пучковой эпитаксией | 
	
                	 | 
	| 
		Шенгуров В.Г., Титова А.М., Алябина Н.А., Чалков В.Ю., Денисов С.А., Здоровейщев А.В.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Многоуровневые мемристивные структуры на основе эпитаксиальных пленок YBa2Cu3O7 – δ | 
	
                	 | 
	| 
		Тулина Н.А., Россоленко А.Н., Борисенко И.Ю., Иванов А.А.
	 | 
		| Том 54, № 2 (2025) | 
	Многоуровневые переключения в мемристивных структурах на основе оксидированного селенида свинца | 
	
                	 | 
	| 
		Тулина Н.А., Россоленко А.Н., Шмытько И.М., Борисенко И.Ю., Борисенко Д.Н., Колесников Н.Н.
	 | 
		| Том 52, № 3 (2023) | 
	Моделирование адсорбции и диффузии атомов лития на дефектном графене для Li-ионной батареи | 
	
                	 | 
	| 
		Асадов М.М., Маммадова С.О., Гусейнова С.С., Мустафаева С.Н., Лукичев В.Ф.
	 | 
		| Том 52, № 6 (2023) | 
	Моделирование вертикального баллистического квантово-барьерного полевого транзистора на основе нелегированной AlxGa1 – xAs квантовой нанопроволоки | 
	
                	 | 
	| 
		Поздняков Д.В., Борздов А.В., Борздов В.М.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	Моделирование влияния решеточных дефектов на работу разделения соединенных материалов | 
	
                	 | 
	| 
		Махвиладзе Т.М., Сарычев М.Е.
	 | 
		| Том 52, № 1 (2023) | 
	Моделирование дефектной структуры суперъячейки и явления переноса в TlInTe2 | 
	
                	 | 
	| 
		Асадов М.М., Мустафаева С.Н., Гусейнова С.С., Лукичев В.Ф.
	 | 
		| Том 53, № 2 (2024) | 
	Моделирование диффузии атомов в многокомпонентных полупроводниках в неупорядоченном состоянии | 
	
                	 | 
	| 
		Асадов С.М.
	 | 
		| Том 53, № 3 (2024) | 
	Моделирование кремниевых полевых конических GAA-нанотранзисторов со стековым SiO2/HfO2 подзатворным диэлектриком | 
	
                	 | 
	| 
		Масальский Н.В.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Моделирование кремниевых полевых с полностью охватывающим затвором нанотранзисторов с высоким k подзатворного диэлектрика | 
	
                	 | 
	| 
		Масальский Н.В.
	 | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	Моделирование особенностей работы мемристивного кроссбар-массива в нейроморфных электронных модулях | 
	
                	 | 
	| 
		Дудкин А.П., Рындин Е.А., Андреева Н.В.
	 | 
		| Том 54, № 4 (2025) | 
	Моделирование самосборки микроиндукторов, производимой за счет остаточных механических напряжений | 
	
                	 | 
	| 
		Бабушкин А.С., Селюков Р.В.
	 | 
		| Том 52, № 3 (2023) | 
	Моделирование системы наноантенн, расположенных в канале TSV, в качестве системы приема-передачи данных | 
	
                	 | 
	| 
		Серов Д.А., Хорин И.А.
	 | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	Моделирование структурых свойств и явления переноса в легированных многокомпонентных 2D полупроводниках | 
	
                	 | 
	| 
		Асадов C.М., Мустафаева С.Н., Маммадов А.Н., Лукичев В.Ф.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Моделирование физико-химических и электронных свойств литийсодержащего 4Н-SiC и бинарных фаз системы Si–C–Li | 
	
                	 | 
	| 
		Асадов М.М., Гусейнова С.С., Мустафаева С.Н., Маммадова С.О., Лукичев В.Ф.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Моделирование электронных свойств М-легированных суперъячеек Li4Ti5O12—М (М = Zr, Nb) с моноклинной структурой для литий-ионных аккумуляторов | 
	
                	 | 
	| 
		Асадов М.М., Маммадова С.О., Мустафаева С.Н., Гусейнова С.С., Лукичев В.Ф.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Молекулярное наслаивание аддитивного слоя диоксида кремния на анодированные оксиды тантала и ниобия | 
	
                	 | 
	| 
		Ежовский Ю.К., Михайловский С.В.
	 | 
		| Том 52, № 3 (2023) | 
	Морфология поверхности и спектры фотолюминесценции псевдоморфных сверхрешеток {InGaAs/GaAs} на подложках GaAs (100), (110) и (111)A | 
	
                	 | 
	| 
		Климов Е.А., Пушкарёв С.С., Клочков А.Н., Можаева М.О.
	 | 
		| Том 52, № 6 (2023) | 
	МЭМС-переключатель на основе кантилевера с увеличенным контактным усилием | 
	
                	 | 
	| 
		Белозеров И.А., Уваров И.В.
	 | 
		| Том 54, № 3 (2025) | 
	Наноструктурированное травление рутения в трехкомпонентной плазме Сl2/O2/Ar | 
	
                	 | 
	| 
		Амиров И.И., Изюмов М.О., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., Кропоткин А.Н., Волошин Д.Г., Палов А.П.
	 | 
		| Том 53, № 5 (2024) | 
	Нанофотонный светоделитель на квантовых точках с ферстеровской связью | 
	
                	 | 
	| 
		Цуканов А.В., Катеев И.Ю.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	Нейроморфные системы: приборы, архитектура и алгоритмы | 
	
                	 | 
	| 
		Фетисенкова К.А., Рогожин А.Е.
	 | 
		| Том 53, № 5 (2024) | 
	Новая концепция развития высокопроизводительной рентгеновской литографии | 
	
                	 | 
	| 
		Чхало Н.И.
	 | 
		| Том 53, № 2 (2024) | 
	Новый подход к моделированию радиационных эффектов низкой интенсивности в биполярных микросхемах | 
	
                	 | 
	| 
		Чумаков А.И.
	 | 
		| Том 52, № 5 (2023) | 
	О влиянии малых добавок F2, H2 и HF на концентрации активных частиц в плазме тетрафторметана | 
	
                	 | 
	| 
		Ефремов А.М., Смирнов С.А., Бетелин В.Б.
	 | 
		| Том 54, № 4 (2025) | 
	Обучение импульсной нейронной сети с учетом особенностей функционирования мемристивного кроссбар-массива | 
	
                	 | 
	| 
		Дудкин А.П., Рындин Е.А., Андреева Н.В.
	 | 
		| Том 54, № 3 (2025) | 
	Обучение с подкреплением импульсной нейронной сети с использованием следовых переменных для синаптических весов с мемристивной пластичностью | 
	
                	 | 
	| 
		Кулагин В.А., Мацукатова А.Н., Рыльков В.В., Демин В.А.
	 | 
		| Том 52, № 4 (2023) | 
	Одиночные структурные повреждения в СБИС | 
	
                	 | 
	| 
		Чумаков А.И.
	 | 
		| Том 52, № 2 (2023) | 
	Оксидные мемристоры для ReRAM: подходы, характеристики, структуры | 
	
                	 | 
	| 
		Исаев А.Г., Пермякова О.О., Рогожин А.Е.
	 | 
		| Том 54, № 3 (2025) | 
	Особенности формирования сбоев в СБИС при воздействии импульсного ионизирующего излучения | 
	
                	 | 
	| 
		Чумаков А.И.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Особенности электроформовки и функционирования мемристоров
на основе открытых “сэндвич”-структур TiN–SiO2–Mo | 
	
                	 | 
	| 
		Горлачев Е.С., Мордвинцев В.М., Кудрявцев С.Е.
	 | 
		| Том 52, № 1 (2023) | 
	Параметры газовой фазы и кинетика реактивно-ионного травления SiO2 в плазме CF4/C4F8/Ar/He | 
	
                	 | 
	| 
		Ефремов А.М., Kwon K.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Параметры и состав плазмы в смеси CF4 + H2 + Ar: эффект соотношения CF4/H2 | 
	
                	 | 
	| 
		Мяконьких А.В., Кузьменко В.О., Ефремов А.М., Руденко К.В.
	 | 
		| Том 52, № 2 (2023) | 
	Параметры плазмы и кинетика реактивно-ионного травления SiO2 и Si3N4 в смеси HBr/Cl2/Ar | 
	
                	 | 
	| 
		Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K.
	 | 
		| Том 53, № 6 (2024) | 
	Параметры плазмы и кинетика травления Si/SiO2 в смесях фторуглеродных газов с аргоном и гелием | 
	
                	 | 
	| 
		Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K.-.
	 | 
		| Том 53, № 1 (2024) | 
	Перенос электронов в биполярном транзисторе со сверхрешеткой в области эмиттера | 
	
                	 | 
	| 
		Голиков О.Л., Забавичев И.Ю., Иванов А.С., Оболенский С.В., Оболенская Е.C., Павельев Д.Г., Потехин А.А., Пузанов А.C., Тарасова Е.А., Хазанова С.В.
	 | 
		| Том 54, № 4 (2025) | 
	Перспективы развития электроннолучевой ионнолучевой литографии в России | 
	
                	 | 
	| 
		Зайцев С.И., Иржак Д.В., Ильин А.И., Князев М.A., Рощупкин Д.В., Грачев В.П., Курбатов В.Г., Малков Г.В.
	 | 
		| Том 52, № 3 (2023) | 
	Плазма водорода в условиях электрон-циклотронного резонанса в технологии микроэлектроники | 
	
                	 | 
	| 
		Полушкин Е.А., Нефедьев С.В., Ковальчук А.В., Солтанович О.А., Шаповал С.Ю.
	 | 
		| Том 53, № 4 (2024) | 
	Плазмохимическое и реактивно-ионное травление арсенида галлия в среде дифтордихлорметана с гелием | 
	
                	 | 
	| 
		Мурин Д.Б., Чесноков И.А., Гогулев И.А., Анохин А.Л., Молоскин А.Е.
	 | 
		| Том 54, № 1 (2025) | 
	Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии | 
	
                	 | 
	| 
		Бринкевич Д.И., Гринюк Е.В., Просолович В.С., Зубова О.А., Колос В.В., Бринкевич С.Д., Вабищевич С.А.
	 | 
		| Том 53, № 5 (2024) | 
	Получение графена: осаждение и отжиг | 
	
                	 | 
	| 
		Шустин Е.Г.
	 | 
		| Том 52, № 3 (2023) | 
	Прецизионная томография кудитов | 
	
                	 | 
	| 
		Богданов Ю.И., Богданова Н.А., Кузнецов Ю.А., Кокшаров К.Б., Лукичёв В.Ф.
	 | 
	
		| 1 - 100 из 136 результатов | 
		1 2 > >>  |