Email this article Трибологические свойства покрытий Ta-Si-C-N, полученных методом магнетронного напыления
- Authors: Chertova A.D.1, Bondarev A.V.1, Levashov E.A.1, Kiryukhantsev-Korneev F.V.1
-
Affiliations:
- Moscow Institute of Science and Technology
- Issue: Vol 61, No 3 (2025)
- Pages: 263-268
- Section: НАНОРАЗМЕРНЫЕ И НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ПОКРЫТИЯ
- URL: https://vietnamjournal.ru/0044-1856/article/view/692718
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0044185625030054
- ID: 692718
Cite item
Open Access
Access granted
Subscription or Fee Access
Abstract
Покрытия Ta-Si-С-(N) были получены методом магнетронного распыления мишени TaSi2-30%SiC в среде Ar, N2 и газовой смеси Ar + 15%N2. Изучены структура и механические характеристики покрытий; особое внимание уделено исследованию трибологических свойств покрытий в условиях жидкостного трения. Результаты показали, что покрытия обладают плотной малодефектной нано-композитной структурой. Основной структурной составляющей покрытия Ta-Si-C являлась фаза TaC. Введение в азот состав газовой среды способствовало формированию фазы Ta(C,N). В покрытии, осажденном в N2, преобладающей являлась фаза на основе нитрида кремния. Увеличение концентрации азота приводило к снижению твердости с 27 до 16 ГПа и модуля упругости с 265 до 160 ГПа. Покрытия обладали коэффициентом трения на уровне 0,12–0,13. Минимальным приведенным износом 6,1∙10–6 мм3 Н–1 м–1 характеризовалось покрытие, полученное в среде Ar + 15%N2.
About the authors
A. D. Chertova
Moscow Institute of Science and Technology
Email: alina-sytchenko@yandex.ru
Москва, 119049 Россия
A. V. Bondarev
Moscow Institute of Science and Technology
Email: alina-sytchenko@yandex.ru
Москва, 119049 Россия
E. A. Levashov
Moscow Institute of Science and Technology
Email: alina-sytchenko@yandex.ru
Москва, 119049 Россия
F. V. Kiryukhantsev-Korneev
Moscow Institute of Science and Technology
Author for correspondence.
Email: kiruhancev-korneev@yandex.ru
Москва, 119049 Россия
References
- Krella A. // Wear 2013. V. 297. P. 992–997.
- Zeman P., Musil J., Daniel R. // Surf. Coatings Technol. 2006. V. 200. P. 4091–4096.
- Musil J., Zeman P., Baroch P. // Compr. Mater. Process. 2014. V. 4. P. 325–353.
- Dai W., Shi Y. // Coatings. 2021. V. 11. № 911.
- de Monteynard A., Luo H., Chehimi M. et al. // Coatings. 2020. V. 10. № 212.
- Du S., Wen M., Yang L. et al. // Ceram. Int. 2018. V. 44. P. 9318–9325.
- Sytchenko A.D., Kozlova N.S., Zabelina E. V. et al. // Surfaces and Interfaces. 2023. V. 37. № 102654.
- Chung C.K., Chen T.S. // J. Mater. Res. 2008. V. 23. P. 494–499.
- Du S., Zhang K., Wen M. et al. // Ceram. Int. 2018. V. 44. P. 613–621.
- Bondarev A.V., Vorotilo S., Shchetinin I.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2019. V. 359. P. 342–353.
- Bondarev A.V., Antonyuk M.N., Kiryukhantsev-Korneev P. V. et al. // Appl. Surf. Sci. 2021. V. 541. № 148526.
- Kiryukhantsev-Korneev P. V., Sytchenko A.D., Sviridova T.A. et al. // Surf. Coatings Technol. 2022. V. 442. № 128141.
- Li W., Yuan Z., Zhu Y., et al. // Ceram. Int. 2021. V. 47. P. 26233–26241.
- Zeman H., Musil J., Zeman P. J. // Vac. Sci. Technol. A 2004. V. 22. P. 646–649.
- Mendizabal L., Bayón R., G-Berasategui E. et al. // Thin Solid Films. 2016. V. 610. P. 1–9.
- Kidalov V.V., Kukushkin S.A., Osipov A.V. et al. // Mater. Phys. Mech. 2018. V. 36. P. 39–52.
- Acosta-Enriquez E.B., Acosta-Enriquez M.C., Castillo-Ortega R. et al. // J. Nanomater. Biostructures. 2016. P. 601–605.
- Kaur A., Chahal P., Hogan T. // IEEE Electron Device Lett. 2016. V. 37. P. 142–145.
- Zaman A., Meletis E.I. // Coatings. 2017. V. 7. № 209.
- Liu X., Ma G. J., Sun G. et al. // Appl. Surf. Sci. 2011. V. 258. P. 1033–1037.
- Yamamoto K., Koga Y., Fujiwara S. // Diam. Relat. Mater. 2001. V. 10. P. 1921–1926.
- Yang J., De Guzman R.C., Salley S.O. et al. // J. Power Sources. 2014. V. 269. P. 520–525.
- Beake B.D. // Surf. Coatings Technol. 2022. V. 442. № 128272.
- Leyland A., Matthews A. // Wear. 2000. V. 246. P. 1–11.
Supplementary files
