Информация об авторе
Морозов, О. В.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 88, № 4 (2024) | Взаимодействие ионов с поверхностью | Динамика осаждения и удаления фторуглеродной пленки в циклическом процессе плазмохимического травления кремния |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 88, № 4 (2024) | Взаимодействие ионов с поверхностью | Динамика осаждения и удаления фторуглеродной пленки в циклическом процессе плазмохимического травления кремния |